Научный институт НПО «Луч» (часть госкорпорации Росатом) по заказу Минпромторга завершил разработку инновационной технологии и производственной цепочки для выпуска высокоочищенного гексафторида вольфрама. Это станет первым в России предприятием, специализирующимся на создании данного материала.
Сфера применения и преимущества
Соединение критически важно для микроэлектронной промышленности — его используют для формирования вольфрамовых слоёв в полупроводниках. Такие покрытия обеспечивают защиту микросхем благодаря исключительной термостойкости, химической инертности и минимальному электрическому сопротивлению.
Импортозамещение и этапы реализации
Проект направлен на ликвидацию зависимости от зарубежных поставок. Как отмечают в Росатоме, сегодня Россия пока не способна полностью обеспечить себя этим материалом.
Уже достигнуты ключевые milestones:
- Созданы лабораторные и опытно-промышленные модули сорбционной очистки;
- Сертифицированы методы анализа газовых и металлических примесей в готовом продукте.
Перспективы
В настоящее время инженеры разрабатывают проект полноценного производственного комплекса. В его инфраструктуру войдёт полный набор технологических линий — от синтеза сырья до финального контроля качества, что обеспечит замкнутый цикл выпуска продукции.