Начальник специальной лаборатории микроэлектроники АО «НПП «Эталон» Будко Д.А.
тел. (3812) 58-84-09, fgup@omsketanon.ru
АО «НПП «Эталон» более 25 лет занимается разработкой и изготовлением фильтров на поверхностно-акустических волнах (ПАВ) с малыми потерями. В настоящее время техника ПАВ — одна из инновационных технологий в мире, а устройства на ПАВ являются ключевыми элементами современных средств телекоммуникаций. АО «НПП «Эталон» освоило производство фильтров на ПАВ с малыми потерями 1-5 дБ, а также линий задержки на ПАВ.
В настоящее время основными тенденциями развития фильтров на ПАВ является повышение избирательности и точности воспроизведения электрических параметров, расширение частотного диапазона, уменьшение вносимых потерь. На предприятии использован подход к созданию фильтров на ПАВ, обеспечивающий малые вносимые потери и высокую избирательность без использования согласующих цепей. Этот подход, получивший название «самосогласованность», основан на компенсации статической емкости входных встречно-штыревых преобразователей реактивной проводимостью излучения в заданной полосе пропускания на выбранном срезе пьезоэлектрика.
Широкий спектр исследований, охватывающий изучение срезов ниобата лития YX/128, YX/64, YX/41, YX/36, танталата лития, кварца, компьютерное моделирование структур ПАВ-фильтров, отработку технологических режимов получения низкоомных пленок алюминия и высокой воспроизводимости технологии, использование современных корпусов для поверхностного монтажа с минимальными паразитными связями, позволил создать более 300 типов ПАВ-фильтров с полосами пропускания от 1 до 12%, избирательностью 30-70 дБ в диапазоне частот от 50 до 800 МГц.
Малые потери, высокая избирательность и присущая устройствам на ПАВ высокая рабочая частота позволяют широко использовать их во входных каскадах мобильных и носимых УКВ-радиостанций, в высококачественных преселекторах и каскадах ПЧ современных УКВ-радиоприемных устройств, системах бортовой аппаратуры самолетов и вертолетов, радиомаяках, навигационных системах и т.д. Фильтры на ПАВ не требуют согласования и настройки, совместимы с технологией поверхностного монтажа, на высоких частотах имеют очень малые габариты с размерами корпуса 3х3 мм.
Технологическая база предприятия «Эталон» на основе участка микроэлектроники с современной гермозоной имеет всю необходимую инфраструктуру (воздух шести степеней очистки, приточная вентиляция, проточная деионизированная вода, стабилизированные параметры напряжения и т.п.). Специальная программа формирует топологии металлизированных фотошаблонов ПАВ-фильтров на уровне операций со структурными элементами ПАВ и выдает управляющие файлы для генератора изображений.
Также гермозона содержит участок химической обработки подложек и фотолитографии, вакуумный участок с установками напыления электронно-лучевым и магнетронным способом, участок для разварки модулей ПАВ в корпуса, измерительный участок для функционального контроля неразрезанных ПАВ-фильтров на дисках ниобата лития, танталата лития и кварца диаметром до 100 мм, участок резки подложек на модули и участок герметизации SMD корпусов. На установке зондового контроля с помощью ВЧ зондов и анализатора цепей проходит 100%-я функциональная проверка неразрезанных ПАВ-фильтров с последующей отбраковкой.
Все это позволяет вести ПАВ-разработки на уровне лучших мировых образцов на любые частоты и полосы пропускания по спецификации заказчика в диапазоне частот 50-800 МГц и ширины полос пропускания 1-12%.