Прибор электронно-лучевой литографии Raith PIONEER Новая, компактная система электронно-лучевой литографии с термоэмиссионным катодом типа Шоттки. Система позволяет получать элементы с размерами 20 нм и менее, и обладает прекрасным разрешением 1,1 нм в режиме электронной микроскопии. Высококачественные компоненты расширяют область применения системы PIONEER: лазерный интерферометрический столик обеспечивает поворот и наклон держателя образца целиком, что даёт системе возможность сохранить функцию получения изображений как в обычном СЭМ.