"НАНОМЕТРОВАЯ ТОЧНОСТЬ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ БОЛЬШИХ ОБРАЗЦОВ Метрологическая платформа МП-100обеспечивает максимальную стабильность и точность измерений, легко приспосабливается к различным условиям эксплуатации. МП-100 предназначена для измерений больших объектов, в частности: подложек; микроэлектронных компонент; фотолитографических масок; и т.д. Среди возможных областей применения: технологический контроль качества: микроэлектронные компоненты микроэлектрмеханические устройства OLED, LCD дисплеи солнечные батареи подложки устройства хранения данных тонкие пленки Фундаментальные и прикладные исследования: Современное материаловедение Микро- и нано- электроника Фотоника Метрологическая платформа МП-100 полностью отвечает всем современным требованиям. Прибор имеет нанометровую точность, высокую производительность, функциональность и стабильность измерений. Состав МП-100: Магнитно-аэростатический координатный стол Модуляционный интерференционный микроскоп Стол вертикальной подачи Оригинальной механической конструкцией микроскопа обеспечивается стабильность интерферометрических параметров в естественных условиях и, соответственно, высокая точность измерения. Применение аэромагнитных направляющих в конструкции координатного стола позволяет восстанавливать целостное изображение протяженных объектов с нанометровым разрешением."