Применение лазерных технологий в оптико-механическом оборудовании для бездефектного изготовления оригиналов топологии изделий микроэлектроники обеспечивает высокую производительность при хороших точностных параметрах. Новый комплекс специального технологического и контрольно-измерительного оборудования предназначен для реализации процесса бездефектного изготовления оригиналов топологии на фотошаблонах.