Компания ANNEALSYS производит системы для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин диаметром от 2 до 8 дюймов с температурным диапазоном от комнатной до 1500 °C и скоростью нагрева до 250°C/сек. Системы быстрых термических процессов компании ANNEALSYS используют для нагрева инфракрасные лампы и могут быть использованы для большого числа применений таких как Кремний (Si), полупроводниковые соединения, фотовольтаика, MEMS и и других. Типичные процессы для систем - это послеимплантационный отжиг, отжиг контактов, кристализация, уплотнение. Быстрое термическое окисление и азотирование также является применимым. Установки быстрых термических процессов (RTP): Установка AS-Micro Система для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination). Применение: быстрый термический отжиг (RTA), быстрое термическое окисление (RTO) послеимплантационный отжиг и др. Температурный диапазон: от RT до 1250°C Загрузка: ручная Установка AS-One Система для быстрых термических процессов с холодными стенками в исполнении для пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм) и до 6 дюймов (150 мм) Применение: быстрый термический отжиг (RTA), быстрое термическое окисление (RTO) послеимплантационный отжиг и др. Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи) Загрузка: ручная Установка AS-Master Универсальная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин диаметром до 8 дюймов (200 мм.) с возможностью проведения процессов RTCVD (опция). Применение: быстрый термический отжиг (RTA), быстрое термическое окисление (RTO) RTCVD послеимплантационный отжиг и др. Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи) Загрузка: ручная(опция: загрузка из кассеты в кассету)
ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» — холдинг, состоящий из нескольких компаний. На протяжении многих лет холдинг активно развивается и успешно сотрудничает со многими предприятиями и организациями, находящимися как в Российской Федерации, так и странах СНГ.
Наш холдинг специализируется на комплексном оснащении современным оборудованием промышленных предприятий металлургии, машиностроения, энергетики и т.п. Такое оснащение включает в себя не только поставку оборудования, но и осуществление проектирования коммуникаций и помещений, в котором будет размещаться данное оборудование, а также выполнение монтажных и пуско-наладочных работ, инструктажа персонала Клиента по обслуживанию оборудования. Также предлагаем послегарантийное обслуживание на все поставляемой оборудование.
Полный спектр оборудования и технологий в области термической обработки:
- Химико-термическая обработка (цементация, нитроцементация, азотирование, карбонитрирование)
- Светлая закалка (процессы в вакууме и в среде защитных газов)
- Отжиг, отпуск, старение
- Термообработка в вакууме
- Спекание
- Пайка
- Термообработка алюминиевых сплавов
- Бездеформационная закалка
- Процессы с использованием метода индукционного нагрева (ТВЧ)
- Оборудование для литья (литье в вакууме, ВДП, литейные комплексы)
- Вспомогательное оборудование (моечные машины, воздушные компрессоры, генераторы газов, системы водяного охлаждения и пр.)
