Кремниевые Si(Li) детекторы, перекрывающие диапазон энергий от нескольких сотен эВ до 50 кэВ применяются в широком круге задач, включая рентгено-флуоресцентный анализ, рентгеновский микроанализ, дифракционный анализ, Мёссбауэровская спектроскопия. Сочетание передовой технологии полупроводниковых материалов, криогенной техники и развитой электроники обработки сигнала обеспечивает Si(Li) детекторам Canberra превосходные характеристики и высокую надежность. В отличие от ранних моделей, а также моделей ряда других компаний, Si(Li) детекторы Canberra не разрушаются при комнатной температуре, благодаря чему их можно хранить и транспортировать без жидкого азота. Кремний-литиевые детекторы выпускаются двух серий: - Si(Li) с рабочими площадями от 12.5 до 80 мм2 и разрешениями от 155 до 190 эВ. - SuperSi(Li) с рабочими площадями от 12.5 до 80 мм2 и разрешениями от 145 до 160 эВ. Для достижения такого разрешения требуется усилитель с временем формирования 24 мкс. В стандартном варианте кремний-литиевые детекторы Canberra комплектуются входным окном из бериллиевой фольги толщиной 25 мкм. Могут поставляться и детекторы со сверхтонкими окнами из бериллиевой фольги или полимерных плёнок.